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CROSS 系列是德国 OWIS 的紧凑型高精度电动 XY 台，CROSS 190 为其中行程与通光孔较大的型号，适用于需要透射光的检测与成像应用。本文介绍该产品的结构、参数与常见用途。

一、产品信息

CROSS 190 采用预紧循环滚珠导轨与低背隙滚珠丝杠，两轴叠层结构，整体高度较低。中央为 190×190mm 方形通光孔，主要用于透射光应用；若不需要通光，可选配带安装孔的盖板封闭。

驱动可选两相步进电机或带编码器的直流电机，限位可选霍尔式或机械式；行程可通过可调限位块在范围内设定。台体为黑色阳极氧化铝，可选配线性测量系统与真空兼容版本。

产品为德国进口，交货周期受厂家排产与供应情况影响，建议在项目排期时预留余量；配套控制器需单独选型，订货时应一并确认。

控制器与软件是需要提前规划的一环。平台本体只负责运动，速度、加减速曲线、回零方式与限位逻辑都由控制器决定；若客户已有运动控制卡，需确认电机类型与反馈信号是否匹配。我们在项目里通常会把控制器型号、通讯协议与指令集在选型阶段一并确认，避免到货后再改。

维护方面，滚珠丝杠与导轨需要按使用强度补充润滑脂，粉尘环境应加防尘罩；长期停用后重新启用，建议先低速全程走一遍，确认无异响再进入正常节拍。真空或洁净环境使用时，需选择相应版本并注意润滑剂的适用性。

选型时还有一项容易被忽略：平台高度与整机光路的匹配。低高度结构有利于压缩设备体积，但也意味着下方留给光源与镜头的空间有限；若采用透射照明，需确认光源组件能否放进通光孔下方的空间。这类尺寸问题在图纸阶段确认，比装机时发现要省事得多。

二、产品参数

项目	参数
结构	两轴叠层 XY 台，低高度设计
行程	每轴 190 mm，可通过限位块设定较小行程
通光孔	190 × 190 mm（方形）
导轨	预紧循环滚珠导轨，跨距较大
传动	预紧滚珠丝杠，低背隙
双向重复性	优于 2 μm
驱动选项	两相步进电机，或带编码器直流电机
限位	霍尔式或机械式，行程可调
材质与表面	变形抗力较好的铝材，黑色阳极氧化，低反射
承载	按系列与配置，约 10 – 15 kg 量级，具体以数据表为准
选配	线性测量系统、盖板、真空兼容版本

注：上表依据 CROSS 系列公开资料整理，精度与承载指标随配置不同而变化，以厂家官方数据表为准。

三、应用案例

晶圆与封装基板透射检测。样品置于通光孔上，按视场分块扫描后拼接。此类应用关注双向重复性与安装面平面度，必要时配线性测量系统，减少接缝错位。

掩模与光刻版检查。掩模版尺寸较大、厚度薄，夹具需要平整支撑；透射照明下缺陷呈高对比度，平台的定位稳定性直接决定缺陷坐标能否复现。

显微成像与尺寸计量。平台承载样品做二维移动，配合显微物镜或干涉物镜完成线宽、台阶与面形测量。低高度结构便于嵌入整机光路。

面板级封装与载板检测。大幅面样品需要较长行程与稳定承载，平台的导轨跨距与底座刚性决定了边缘位置的姿态一致性；配合线性测量系统可减少拼接误差。