光刻与薄膜工艺

MLASE MLI-500-KRF 准分子激光器：产品信息、主要参数与应用说明

2026年10月30日 1

留言询价 联系方式 准分子激光器是深紫外波段常用的脉冲光源之一。KrF 介质输出 248nm 深紫外光，广泛用于成熟制程光刻、激光退火与深紫外检测等工序。本文介绍德国 MLASE 品牌 MLI-500-KRF 准分子激光器的产品信息、主要参数与典型应用，供选型...

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HELLMA 氟化钙（CaF₂）晶体片：193nm 波段光学元件产品介绍

2026年10月30日 6

留言询价 联系方式 氟化钙（CaF₂）单晶是深紫外光学系统中使用较多的一种透光材料。在 193nm 波段，多数常规光学玻璃吸收较大，熔石英在长时间强紫外辐照下也可能出现透过率衰减，而 CaF₂ 在该波段保持较高透过率、较低本征双折射与良好的抗激光...

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