透射光检测中的 XY 台怎么选：行程、通光孔与重复性的权衡

引言

在透射式光学检测设备里，XY 位移台既是运动部件，也是光路的一部分——样品要架在它的通光孔上，光从下方穿过、相机在上方成像。这个双重身份，让它的选型比普通定位平台多出几条约束。

一、通光孔不是越大越好

通光孔决定了可检测样品的尺寸范围，但开孔越大，台体刚性越难维持，负载能力也随之下降。常见的做法是让开孔略大于常用样品幅面，超出部分通过分段扫描覆盖。若样品远超开孔尺寸，则需要考虑龙门结构或分体方案，而不是一味加大开孔。

二、重复性要看“双向”

参数表上常写单向重复性，但检测设备通常来回扫描，换向误差才是拼接错位的主因。选型时应关注双向重复性指标，并确认测量方法：用什么仪器、在什么负载下、取多少个点。以 CROSS 系列为例，其双向重复性标称优于 2 微米，这类指标在拼接应用中比单纯的定位分辨率更有意义。

若对定位精度要求更高，可考虑带线性测量系统的版本，用光栅反馈闭环，减少丝杠误差的影响。

三、结构细节决定长期表现

导轨跨距、底座厚度与安装面平面度，共同决定了平台在偏载下的姿态。夹具重心偏离台面中心时，倾覆力矩会全部由导轨承担，跨距小的结构容易产生微小倾斜，表现为图像边缘失焦。安装面的平面度同样重要——机架焊接件的变形会被底座“继承”下来，加一块加工过的过渡板是常见做法。

此外还要留意电机与反馈形式、限位方式、线缆走向。这些细节不影响参数表上的数字，却决定了设备调试要花三天还是三周。